Pembukaan Jurusan Teknik Geofisika diawali dengan rapat Senat ITS pada tahun 2006, kemudian melahirkan SK Rektor Nomor 2858/KO3/PP/2006 tentang pembentukan Prodi Geofisika di Jurusan Fisika FMIPA ITS. Mahasiswa Program Studi Geofisika adalah mahasiwa baru Jurusan Fisika dan semenjak awal menggunakan kurikulum Program Studi Geofisika yang indipenden terhadap kurikulum Jurusan Fisika FMIPA.

Pada tanggal 6 Juli 2012,  berdasarkan SK Menteri Pendidikan dan Kebudayaan Nomor 234/E/O/2012, berdirilah Jurusan Teknik Geofisika berada di bawah Fakultas Teknik Sipil dan Perencanaan. Terkait status ITS yang semula PTN-BLU (Perguruan Tinggi Negeri Badan Layanan Umum) menjadi PTN-BH (Perguruan Tinggi Negeri Berbadan Hukum), sehingga saat ini lebih dikenal Departemen Teknik Geofisika (DTG), yang berada di bawah Fakultas Teknik Sipil Lingkungan dan Kebumian (FTSLK).

Teknik Geofisika adalah disiplin ilmu rekayasa dan teknologi untuk meneliti struktur pelapisan bumi dibawah permukaan bumi dengan memanfaatkan sifat-sifat fisik batuan/ material yang ada dibumi. Berbagai kerjasama telah dijalin, baik dalam negeri, seperti Pertamina, Chevron, Total E&P Indonesia, dan lain sebagainya, maupun luar negeri seperti GFZ Jerman, NCU (National Central University), Kumamoto University Jepang.

Bidang penelitian yang digeluti diantaranya Oil Gas, Geothermal, Lingkungan, Geoteknik, Energy, Pertambangan, dan Mitigasi Bencana. Departemen Teknik Geofisika yang juga aktif di organisasi HMTG (Himpunan Mahasiswa Teknik Geofisika), HAGI (Himpunan Ahli Geofisika Indonesia), SEG (Society of Exploration Geophysicists), SPE (Society of Petroleum Engineers), IPA (Indonesian Petroleum Association), dan AAPG (American Association of Petroleum Geologists).